尼康欧堡Silverstone获批上市

最新“产品新闻”

• 分辨率达到 0.85 μm (L/S)
  世界首款亚微米分辨率FPD曝光设备“FX-6ASLH”开始接受预订
• 推出分辨率达1.5μm的数字曝光设备“DSP-110”
• 用于半导体3D结构中“晶圆对晶圆键合”工艺，助力实现高套刻精度