分辨率达到 0.85 μm (L/S)
世界首款亚微米分辨率FPD曝光设备“FX-6ASLH”开始接受预订
2026年10月26日
产品新闻
2026年10月26日
尼康公司FPD曝光设备中世界首款*1可实现0.85 μm*2*3 (L/S*4)的亚微米分辨率的FPD曝光设备【FX-6ASLH】开始接受订单。本产品适用于第六代玻璃基板*5，是用于制造先端智能设备的高精细有机EL和液晶面板的最匹配的曝光设备.
*1 基于截至 2026 年 10 月 26 日公布的 FPD曝光设备。（根据尼康调查）
*2 1 µm（微米）是百万分之一米（千分之一毫米）。
*3 使用相位差掩模和化学增幅型光刻胶可实现 0.85 μm 的分辨率。
*4 是 Line and Space 的缩写。是指配线的宽度和相邻配线之间的间距。
*5 适用于中小尺寸面板，尺寸为 1,500 mm x 1,850 mm的玻璃基板。
发售概要
| 产品名称 | FPD曝光设备“FX-6ASLH” |
| 上市日期 | 2027年12月 |
开发背景
着眼于未来先端的智能设备会更加需求高分辨率和高功能化，适用于中小尺寸面板的第6代玻璃基板的FPD曝光设备会需要达到小于1.0 μm（L/S）的分辨率。所以，尼康全新开发出世界首款可以达到0.85 μm高分辨率的FPD曝光设备。
主要特点
1. 分辨率达到 0.85 μm (L/S)
通过搭载UV-LED光源的全新研发照明光学系统，实现了第6代玻璃尺寸下0.85µm (L/S) 和1.0µm (C/H*6) 的分辨率。这种亚微米级分辨率在FPD曝光设备中属于世界首次。即使在容易变形的大尺寸基板中，也能在实时对焦的同时进行补正，实现整个基板均匀的线宽曝光。
*6 Contact Hole的缩写。用于连接上下层的电气的孔的大小。
2. 重合精度达到±0.18 μm以下
构成组合式镜头投影系统*7中的每个镜头在基于基板的状态进行精密控制的同时，设备内部的环境得到合理管理，从而实现了第6代玻璃尺寸的最高水平*8±0.18µm以下的重合精度。从而对达成高良率的量产工艺做出贡献。
*7把复数的投影镜头并联在一起并进行精密控制，使其可以当作一枚巨大的投影镜头使用，这是尼康独有的技术。该技术使得单次大范围的图案曝光成为可能。
*8 基于截至2026年10月26日公布的FPD曝光设备。（根据尼康调查）
3. 通过采用UV-LED光源同时实现高分辨率和高生产率
通过采用高照度的UV-LED光源，实现了亚微米分辨率和高生产率，发挥优异的生产性能。
主要特点
| 分辨率 | 0.85 µm L/S*3，1.0 µm C/H |
| 光源 | UV-LED i-line相当 |
| 投影倍率 | 1:1 |
| 重合精度 | ≦± 0.18 μm |
| 尺寸 | 1,500 mm × 1,850 mm |
| 节拍 | 39 秒/plate （条件）1500 mm × 1850 mm，4 scan，i-line相当，30 mJ/cm² |
●尼康官网 https://www.jp.nikon.com/
●尼康半导体・FPD产品与服务官网
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