高分辨率与高效率同步，实现环保新突破
业内首款采用UV-LED光源的FPD曝光设备“FX-88SL”、“FX-88SLD”开始接受订单

FPD曝光设备「FX-88SL/SLD」

尼康株式会社宣布，将于2025年11月开始接受全新FPD（平板显示器）曝光设备“FX-88SL”和“FX-88SLD” ^※1的订单。这两款设备是业内首批采用UV-LED（紫外线LED）光源^※2的产品，适用于第8代（2,290mm × 2,620mm）玻璃基板，兼具高分辨率、高生产效率和低环境负荷等优势。

发售信息

商品名	FPD曝光设备「FX-88SL」、FPD曝光「FX-88SLD」
接受订单时间	2025年11月
上市时间	2026年4月

开发背景

随着智能设备和大型高端显示器等高精细面板需求的持续增长，面板制造行业对高生产效率与低能耗的需求日益迫切。针对这一趋势，尼康率先开发出采用UV-LED光源的FPD曝光设备。UV-LED光源不仅具备高照度，能够提升生产效率，还实现了节能降耗和运行成本的有效降低。此外，该光源不含汞元素，进一步减少了对环境的影响。尼康将持续致力于降低环境负荷，积极助力可持续社会的实现，并不断促进自身的持续发展。

FPD曝光设备“FX-88SL”“FX-88SLD”所对应的市场

主要特点

1.兼顾高分辨率与高生产效率

凭借高精度对焦补正系统，实现整块基板上的优异线宽均一性，并可通过4次扫描高效完成第8代大尺寸基板的全面曝光。配备相当于i线光源UV-LED“FX-88SL”分辨率高达1.5μm^※3 L/S^※4，单片基板的加工时间较上一代“FX-88S”缩短17%，实现了每片39秒^※5的高效生产。此外，搭载UV-LED双波长^※6光源的“FX-88SLD”则进一步提升了对高照度要求工艺的生产效率。

※3 1μm（微米）等于百万分之一米（千分之一毫米）
※4 L/S为Line and Space的缩写，指布线宽度及其相邻间距
※5 以2,290mm × 2,620mm基板、4次扫描、i线、30 mJ/cm²条件下测得
※6 相当于i线和h线

2. 实现±0.3μm的高重合精度

新一代设备通过先进的对准技术，实现了±0.3μm的重合精度。采用尼康独有的多镜组系统^※7，对每个镜头进行精密控制，即便在大型玻璃基板因变形或应力产生偏差的情况下，也能确保极高的对位精度，有效提升量产过程中的产品良率。

※7 尼康FPD曝光设备的独有技术。通过并列并精密控制多个投影镜头，实现如同使用一个大型镜头般的曝光效果，从而能够在一次曝光中对更大面积进行图案化处理。

3. 采用UV-LED光源，兼顾高性能与环保

本系列产品采用了低能耗、无汞的UV-LED光源，在大幅提升曝光亮度和生产效率的同时，有效降低了运行成本。此外，尼康还建立了UV-LED光源部件的回收机制，积极践行可持续发展理念，助力构建环保的社会。

主要性能

	FX-88SL	FX-88SLD
分辨率	1.5 µm L/S 1.8 µm C/H	2.5 µm L/S 2.5 µm C/H
光源	波长相当于i线的UV-LED	波长相当于i线和h线的UV-LED
投影倍率	1 : 1
重合精度	≦±0.30 µm
尺寸	2,290 mm ｘ 2,620 mm
节拍	39s / plate （条件）2,290 mm × 2,620 mm、4次扫描、i-line、30 mJ/cm2	39s / plate （条件）2,290 mm × 2,620 mm、4次扫描、i-line+h-line、30 mJ/cm2